構造及び材質
| 構造 | 材質 | 表面処理 |
|---|---|---|
| ハブ | ステンレススチール | 電解研磨 |
| スペーサー | VESPEL (PI) | - |
| 締結ボルト | STS304 | - |
特徴及び用途
| 低アウトガス放出 | ☆ |
|---|---|
| 高いトルク伝達力（耐久性） | ○ |
| ねじり剛性 | △ |
| 耐薬品性 | ○ |
| 非整列吸収 | ☆ |
| 電気絶縁 | ☆ |
| 低偏心反力 | ☆ |
| 使用温度 | -20℃ ~ 200℃ |
主要用途 : 半導体及びOLED製造真空装置、高温環境機器、クリーンルーム
SOHSVの特長
- 耐熱性が非常に優れており、高温環境での使用に最適です。
（耐熱性能においては、PEEKよりも優れています。） - 相対的にアウトガスが小さいので、クリーンルームや 真空環境に適しています。
VESPELの物性値
| 区分 | 項目 | 試験方法 | 値 | 単位 |
|---|---|---|---|---|
| 物性 | 密度 | ISO 1183-1 | 1.43 | g/㎤ |
| 熱属性 | 荷重変形温度 (1.8 Mpa) |
ISO 75-1 | 340 | ℃ |
| 熱膨張係数 (23 - 300℃) |
- | 45x10-6 | m/m·K | |
| 機械的 性質 |
引張強度 | ISO 527-1 | 163 | Mpa |
| 引張率 | ISO 527-1 | 7.5 | % | |
| ロックウェル 硬度 |
ISO 2039-2 | E95 |
注文方法
① キー溝
- 無記号
- 一般内径
- K(寸法)
- 該当寸法のキー溝加工