構造及び材質
構造 | 材質 | 表面処理 |
---|---|---|
ハブ | 高強度アルミ合金 | - |
スペーサー | PEEK | - |
締結ボルト | STS304 | - |
特徴及び用途
低アウトガス放出 | ☆ |
---|---|
高いトルク伝達力(耐久性) | ○ |
ねじり剛性 | △ |
耐薬品性 | ○ |
非整列吸収 | ☆ |
電気絶縁 | ☆ |
低偏心反力 | ☆ |
使用温度 | -20℃ ~ 120℃ |
主要用途 : 半導体及びOLED製造真空装置、高温環境機器、クリーンルーム
SOHMPの特長
- 極微量のアウトガスが放出されるので、真空装置に最適です。(アウトガス性能においては、VESPELより優れています。)
- 高温もしくはクリーンルーム環境に適しています。
PEEKの物性値
区分 | 項目 | 試験方法 | 値 | 単位 |
---|---|---|---|---|
物性 | 密度 | ISO 1183-1 | 1.31 | g/㎤ |
熱属性 | 荷重変形温度 (1.8 Mpa) |
ISO 75-1 | 160 | ℃ |
熱膨張係数 (23 - 150℃) |
- | 55x10-6 | m/m·K | |
機械的 性質 |
引張強度 | ISO 527-1 | 115 | Mpa |
引張率 | ISO 527-1 | 5 | % | |
ロックウェル 硬度 |
ISO 2039-2 | M105 |
注文方法
① キー溝
- 無記号
- 一般内径
- K(寸法)
- 該当寸法のキー溝加工